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发明名称 FLUORINATED POLYMERS, PHOTORESISTS AND PROCESSES FOR MICROLITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 EP1551887(A1) 申请公布日期 2005.07.13
申请号 EP20030771715 申请日期 2003.07.23
申请人 E. I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY 发明人 FEIRING, ANDREW, EDWARD;SCHADT, FRANK, LEONARD, III;OGATA, TOSHIYUKI;ENDO, KOUTARO
分类号 C08F114/18;C08F214/18;C08F220/28;C08F220/30;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/32;H01L21/027;(IPC1-7):C08F114/18;G03F7/038 主分类号 C08F114/18
代理机构 代理人
主权项
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