发明名称 | 清洁方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种清洁方法,即涉及一种用于清除在制造液晶显示器基片或半导体过程中,粘附在基片等表面上的污物的清洁方法。其中含水还原碱性清洁溶液由碱性溶液与含氢的水混合制成。这种含水清洁溶液具有有效的清洁能力,其氧化还原电位和pH值可以单独控制。因此,根据在每一制造工序过程中,粘附在物体上的污物的形式,利用含水清洁溶液清洗即可清除多种污物。 | ||
申请公布号 | CN1636640A | 申请公布日期 | 2005.07.13 |
申请号 | CN200410101725.6 | 申请日期 | 1997.03.27 |
申请人 | 阿尔卑斯电气株式会社;奥璐佳瑙股份有限公司 | 发明人 | 吴义烈;三森健一;宫泽聪 |
分类号 | B08B3/08 | 主分类号 | B08B3/08 |
代理机构 | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人 | 刘激扬 |
主权项 | 1.一种利用含水还原碱性清洁溶液清洁物体的清洁方法,其特征为,所述含水清洁溶液由含氢的水与碱性溶液混合制成。 | ||
地址 | 日本国东京都 |