发明名称 清洁方法
摘要 本发明涉及一种清洁方法,即涉及一种用于清除在制造液晶显示器基片或半导体过程中,粘附在基片等表面上的污物的清洁方法。其中含水还原碱性清洁溶液由碱性溶液与含氢的水混合制成。这种含水清洁溶液具有有效的清洁能力,其氧化还原电位和pH值可以单独控制。因此,根据在每一制造工序过程中,粘附在物体上的污物的形式,利用含水清洁溶液清洗即可清除多种污物。
申请公布号 CN1636640A 申请公布日期 2005.07.13
申请号 CN200410101725.6 申请日期 1997.03.27
申请人 阿尔卑斯电气株式会社;奥璐佳瑙股份有限公司 发明人 吴义烈;三森健一;宫泽聪
分类号 B08B3/08 主分类号 B08B3/08
代理机构 北京三幸商标专利事务所 代理人 刘激扬
主权项 1.一种利用含水还原碱性清洁溶液清洁物体的清洁方法,其特征为,所述含水清洁溶液由含氢的水与碱性溶液混合制成。
地址 日本国东京都