发明名称 | 真空中的衬底保持方法和装置、液晶显示装置制造方法 | ||
摘要 | 本发明的真空中的衬底保持方法利用以含有二烯类树脂的材料成型的粘结衬垫(20)或粘结片保持玻璃衬底(5)。以此防止粘结剂粘附在衬底上,同时能在粘固衬底后方便地将粘结片从衬底上剥离。 | ||
申请公布号 | CN1639858A | 申请公布日期 | 2005.07.13 |
申请号 | CN03805388.8 | 申请日期 | 2003.02.17 |
申请人 | 夏普株式会社;日立产业有限公司 | 发明人 | 横山直人;森本光昭;中原真;村山孝夫;平井明;八幡聪 |
分类号 | H01L21/68;G02F1/13;G02F1/1333 | 主分类号 | H01L21/68 |
代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 包于俊 |
主权项 | 1.一种在真空中的衬底保持方法,其特征在于,利用以含有二烯类树脂的材料成型的粘结衬垫或粘结片保持衬底。 | ||
地址 | 日本大阪府 |