| 主权项 |
1.一种光开关，利用显微机械加工技术制造，包括：第一基片，具有固定电极基片和在该固定电极基片的顶面形成的固定电极；第二基片，具有厚单晶硅层、薄单晶硅层、介于上述厚单晶硅层的底面和上述薄单晶硅层的顶面之间的绝缘体层；隔板，介于形成上述固定电极的上述第一基片的顶面和上述第二基片的薄单晶硅层之间，使上述第一基片的固定电极和上述第二基片的薄单晶硅层以规定间隔并平行配置；活动板状电极，在上述第二基片的薄单晶硅层上形成；多个挠性的梁状元件，形成在上述第二基片的薄单晶硅层上与上述活动板状电极形成为一体，用于支撑上述活动板状电极，使其可向上述固定电极靠近和离开；多个光纤固定用槽，在上述第二基片的厚单晶硅层上通过蚀刻厚单晶硅层形成；多个微型反射镜，通过蚀刻厚单晶硅层形成在上述第二基片的厚单晶硅层的一部分中，位于上述活动板状电极的上部，上述微型反射镜通过上述绝缘体层直立于上述活动板状电极的顶面，并且位于上述光纤固定用槽的延长线上；贯通孔，形成在上述隔板中，可使上述活动板状电极接近上述固定电极，其中，光开关的构成是通过静电驱动上述活动板状电极，以接近上述固定电极并使直立于上述活动板状电极的微型反射镜移位，从而改变入射光束的光路。 |
