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发明名称 METHOD FOR TOOLMATCHING AND TROUBLESHOOTING A PLASMA PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1552543(A2) 申请公布日期 2005.07.13
申请号 EP20030770493 申请日期 2003.09.26
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 AVOYAN, ARMEN;JAFARIAN-TEHRANI, SEYED, JAFAR
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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