显示装置的制造方法

摘要

本发明提供一种可容易且能正确地予以形成的微小共振器构造的显示装置的制造方法。在具有多个像素且由两种以上的波长的发射光进行彩色显示的显示装置中，各像素具有：形成于基板侧的下部反射膜(110)与上部反射膜(240)之间的微小共振器构造；该下部反射膜(110)与该上部反射膜(240)的夹着有机发光组件层(120)。其中，下部反射膜(110)以金属薄膜构成，且与有机发光组件层(120)间具有作为第一电极(200)机能的导电性共振间隔物层。而该导电性共振间隔物层，将以ITO所成的透明导电性金属氧化物层的层积数或残留数，根据不同的发射波长的每一像素加以改变而改变其厚度。该厚度以下层的多结晶ITO当作蚀刻停止层，将上层的非晶质ITO由多结晶ITO上方予以选择性地去除后，对应于成膜的残留ITO层的厚度而改变其厚度以使发光光线通过微小共振器构造予以增强后发射外部。

主权项

1.一种显示装置的制造方法，该显示装置具有多个像素且在各像素具有：下部反射膜；及在该下部反射膜上方，至少夹有一层有机发光组件层予以形成的上部反射膜，而在该下部反射膜与上部反射膜之间构成微小共振器；且对应该微小共振器的上述下部反射膜与上述上部反射膜层间的距离的光学长度在不同像素间对应于发射波长各有不同，而由至少两种波长的发射光进行彩色显示，此显示装置的制造方法中：在上述下部反射膜形成后，而在上述有机发光组件层形成前，在上述每一像素形成具有透明导电性金属氧化物的单层或多层积成体导电性共振间隔物层，且在不同的发射波长之像素间，分别改变透明导电性金属氧化物层的层积数或残余层数，以作为用以调整上述光学长度的上述导电性共振间隔物层的总厚度。