| 发明名称 | 用于制造平板显示器件的方法和设备 | ||
| 摘要 | 一种制造平板显示器件的方法，包括：在薄膜上涂布抗蚀剂；形成用于对所述薄膜进行构图的具有凹槽和凸起的软模；对所述凸起的端面进行处理；将所述软模施加在所述抗蚀剂上以形成抗蚀剂图案；将所述软模与所述抗蚀剂图案分开；以及利用所述抗蚀剂图案对所述薄膜进行刻蚀以形成薄膜图案。 | ||
| 申请公布号 | CN1637614A | 申请公布日期 | 2005.07.13 |
| 申请号 | CN200410095589.4 | 申请日期 | 2004.12.02 |
| 申请人 | LG.菲利浦LCD株式会社 | 发明人 | 金珍郁 |
| 分类号 | G03F7/20;H01L21/00;G02F1/133;G09F9/00 | 主分类号 | G03F7/20 |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄纶伟 |
| 主权项 | 1.一种制造平板显示器件的方法，包括：在薄膜上涂布抗蚀剂；形成用于对所述薄膜进行构图的具有凹槽和凸起的软模；对所述凸起的端面进行处理；将所述软模施加在所述抗蚀剂上以形成抗蚀剂图案；将所述软模与所述抗蚀剂图案分开；以及利用所述抗蚀剂图案对所述薄膜进行刻蚀以形成薄膜图案。 | ||
| 地址 | 韩国汉城 | ||