螺旋形电感器和变压器

摘要

螺旋电感器在螺旋配线与下穿配线交叉的部分将形成螺旋配线的导电膜层中的至少1层用于下穿配线的形成，由较少的导电膜数形成的交叉部分的螺旋配线的宽度比由较多的导电膜数形成的不交叉的部分的螺旋配线大。

主权项

1.一种螺旋电感器，在半导体基板上由夹住绝缘体配置的n层(n≥2)的导电膜层形成；其特征在于：具有螺旋配线和下穿配线；该螺旋配线通过将电连接的沿上下方向邻接的i层(2≤i≤n)的上述导电膜层配置成螺旋状而形成，该下穿配线由电连接的沿上下方向邻接的k层(1≤k≤n-1)的上述导电膜层形成，电连接于上述螺旋配线的内侧的端部；在上述螺旋配线与下穿配线交叉的部分，形成上述螺旋配线的导电膜层中的沿上下方向邻接的j层(1≤j＜i)用作形成所述下穿配线的导电膜层，与所述下穿配线交叉的部分的螺旋配线中的宽度最狭小的部位的宽度比不与所述下穿配线交叉的部分的螺旋配线中的宽度最狭小的部位的宽度大。