发明名称 NOZZLE OF COATING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR MASKING
摘要
申请公布号 KR20050073103(A) 申请公布日期 2005.07.13
申请号 KR20040001290 申请日期 2004.01.08
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 SHIN, JAE CHEON;CHOI, BO KYOUNG
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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