图案的形成装置及方法、导电膜布线、器件的制造方法

摘要

本发明提供一种使边缘部形状良好并且可以实现加宽的图案的形成方法以及图案形成装置。该图案形成装置，通过喷出装置喷出液滴状态的液体材料，在基板上将该液滴配置成线状。在基板上将多个液滴配置成线状，在基板上形成多个线状图案之后，在这些多个线状图案之间配置多个液滴，使这些多个相邻线状图案之间形成一体化。

主权项

1.一种图案的形成方法，其中由液滴喷出装置喷出液滴状态的液体材料，在基板上形成图案，其特征在于，包括：利用多个所述液滴，其配置为所述液滴的配置间距比配置在所述基板上之后的液滴的直径还大，以在所述基板上形成多个第1图案的工艺；和在所述多个第1图案之间配置多个所述液滴，使所述多个第1图案之间形成为一体的工艺。