| 发明名称 | 在空中传送期间稳定衬底的载体 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种在空中传送期间稳定衬底的载体的方法。在第一方案中，提供第一装置，用于衬底载体的处理位置间的空中传送。第一装置包括(1)空中传送机构；(2)挂在空中传送机构上的衬底载体支架，适于接受和支撑衬底载体；以及(3)稳定装置，适于限制衬底载体和衬底载体支架相对于空中传送机构的摇摆。还提供了大量的其它实施例。 | ||
| 申请公布号 | CN1636845A | 申请公布日期 | 2005.07.13 |
| 申请号 | CN200410095432.1 | 申请日期 | 2004.11.12 |
| 申请人 | 应用材料有限公司 | 发明人 | 迈克尔·R·赖斯;埃里克·A·恩格尔哈德特;罗伯特·B·劳伦斯;马丁·R·埃里奥特;杰弗里·C·赫金斯 |
| 分类号 | B65G49/07;H01L21/68 | 主分类号 | B65G49/07 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 董敏 |
| 主权项 | 1.一种用于在处理位置之间空中传送衬底载体的装置，包括：空中传送机构；衬底载体支架，从空中传送机构悬垂下来并且适于接受和支撑衬底载体；以及稳定装置，适于限制衬底载体和衬底载体支架相对于空中传送机构的摇摆。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚 | ||