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发明名称 MICROELECTROMECHANICAL APPARATUS AND METHODS FOR SURFACE ACOUSTIC WAVE SWITCHING
摘要
申请公布号 EP1552610(A1) 申请公布日期 2005.07.13
申请号 EP20030764688 申请日期 2003.07.11
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 MA, QING;SHIM, DONG
分类号 B81B3/00;H03H9/02;H03H9/05;H03H9/25;(IPC1-7):H03H9/02 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
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