正型光致抗蚀剂剥离液组合物

摘要

本发明提供一种不需要紫外线照射的前处理、在室温下可以剥离正型抗蚀剂的剥离液，其可以在装置内快速地消泡，而且对环境的影响小。本发明的光致抗蚀剂剥离液组合物剥离以苯醌二叠氮化物为感光性物质的正型光致抗蚀剂，该组合物含有下述成分：偏硅酸钠或氢氧化钠之中的任何一种，从二乙二醇或三乙二醇的单丁基醚或单己基醚之中选择的一种、两种或以上，以及水。

主权项

1、一种剥离以苯醌二叠氮化合物作为感光性物质的正型光致抗蚀剂的光致抗蚀剂剥离液组合物，其含有下述成分：偏硅酸钠或氢氧化钠之中的任意一种，从二乙二醇或三乙二醇的单丁基醚或单己基醚之中选择的一种、两种或以上，以及水。