| 发明名称 | 硅结晶设备 | ||
| 摘要 | 一种硅结晶设备，包括：激光束源，用于发射激光束；投射单元，用于会聚并改变来自所述激光束源的激光束图案；装/卸基板的载台；反射镜，用于将来自所述投射单元的激光束偏转到基板之外；以及冷却装置，用于接收被所述反射镜偏转的激光束，并散发由所接收的激光束产生的热量。从而在基板装载完成之前预热投射镜，或在基板结晶之后截断照射到基板上的激光束。 | ||
| 申请公布号 | CN1637543A | 申请公布日期 | 2005.07.13 |
| 申请号 | CN200410081682.X | 申请日期 | 2004.12.24 |
| 申请人 | LG.菲利浦LCD株式会社 | 发明人 | 郑允皓 |
| 分类号 | G02F1/136;H01L29/786 | 主分类号 | G02F1/136 |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄纶伟 |
| 主权项 | 1、一种硅结晶设备，包括：用于发射激光束的激光束源；投射单元，其会聚并改变来自所述激光束源的激光束的图案；装/卸基板的载台；激光束光闸，用于将来自所述投射单元的激光束偏转到所述基板之外；以及冷却装置，用于接收被所述激光束光闸偏转的激光束，并散发由所接收的激光束产生的热量。 | ||
| 地址 | 韩国汉城 | ||