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发明名称
摘要
申请公布号 JP3671966(B2) 申请公布日期 2005.07.13
申请号 JP20030020163 申请日期 2003.01.29
申请人 发明人
分类号 C23C16/24;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/509;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
主权项
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