发明名称 |
一种降低铟柱焊点应力的焦平面器件 |
摘要 |
本发明公开了一种降低铟柱焊点应力的焦平面器件,包括:阵列探测器光敏元芯片,通过铟柱与阵列探测器光敏元芯片互连的硅信号读出电路,其特征在于:在用于电学互连铟柱区域边添加1~2个较大底面积的降应力铟柱,或在面阵电学互连铟柱2区域外围四周,添加1~2排较大底面积的降应力铟柱。较大底面积的降应力铟柱尺寸的选择及精确定位是通过ANSYS有限元分析软件编程,在PC机WIN2000平台上运行。这种结构可使铟柱焊点应力下降70%左右,可以基本缓解互连封装铟柱焊点应力造成的可靠性降低,并且只需常规工艺就可制备。 |
申请公布号 |
CN1638135A |
申请公布日期 |
2005.07.13 |
申请号 |
CN200410084793.6 |
申请日期 |
2004.12.01 |
申请人 |
中国科学院上海技术物理研究所;华东师范大学 |
发明人 |
郭方敏;陆卫;徐欣;李宁 |
分类号 |
H01L27/14;H01L31/00;G01J1/02 |
主分类号 |
H01L27/14 |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 |
代理人 |
郭英 |
主权项 |
1.一种降低铟柱焊点应力的焦平面器件,包括:阵列探测器光敏元芯片(1),通过铟柱(2)与阵列探测器光敏元芯片互连的硅信号读出电路(3),其特征在于:在用于电学互连铟柱(2)区域边添加1~2个较大底面积的降应力铟柱(4),或在面阵电学互连铟柱(2)区域外围四周,添加1~2排较大底面积的降应力铟柱(4)。 |
地址 |
200083上海市玉田路500号 |