发明名称 一种降低铟柱焊点应力的焦平面器件
摘要 本发明公开了一种降低铟柱焊点应力的焦平面器件,包括:阵列探测器光敏元芯片,通过铟柱与阵列探测器光敏元芯片互连的硅信号读出电路,其特征在于:在用于电学互连铟柱区域边添加1~2个较大底面积的降应力铟柱,或在面阵电学互连铟柱2区域外围四周,添加1~2排较大底面积的降应力铟柱。较大底面积的降应力铟柱尺寸的选择及精确定位是通过ANSYS有限元分析软件编程,在PC机WIN2000平台上运行。这种结构可使铟柱焊点应力下降70%左右,可以基本缓解互连封装铟柱焊点应力造成的可靠性降低,并且只需常规工艺就可制备。
申请公布号 CN1638135A 申请公布日期 2005.07.13
申请号 CN200410084793.6 申请日期 2004.12.01
申请人 中国科学院上海技术物理研究所;华东师范大学 发明人 郭方敏;陆卫;徐欣;李宁
分类号 H01L27/14;H01L31/00;G01J1/02 主分类号 H01L27/14
代理机构 上海智信专利代理有限公司 代理人 郭英
主权项 1.一种降低铟柱焊点应力的焦平面器件,包括:阵列探测器光敏元芯片(1),通过铟柱(2)与阵列探测器光敏元芯片互连的硅信号读出电路(3),其特征在于:在用于电学互连铟柱(2)区域边添加1~2个较大底面积的降应力铟柱(4),或在面阵电学互连铟柱(2)区域外围四周,添加1~2排较大底面积的降应力铟柱(4)。
地址 200083上海市玉田路500号