二氧化硅涂膜形成用组合物、二氧化硅涂膜及其制造方法、以及电子部件

摘要

本发明提供一种二氧化硅涂膜形成用组合物，含有作为(a)组分的烷氧基硅烷等硅氧烷树脂，作为(b)组分的可以溶解该硅氧烷树脂的醇等溶剂，作为(c)组分的铵盐等以及作为(d)组分的受热分解挥发性化合物，具有如下固化性能，在150℃/3分的加热处理下得到的涂膜的应力为10MPa，而且通过最终固化得到的二氧化硅涂膜的比电容率小于3.0。本发明的二氧化硅涂膜形成用组合物，在形成具有低电容率、粘结性的同时可以形成具有很好机械强度的二氧化硅涂膜。

主权项

1.一种二氧化硅类涂膜形成用组合物，其具有：(a)成分：加水分解缩合以下列通式(1)表示的化合物而得到的硅氧烷树脂，R1nSiX4-n (1)式中，R1表示H原子或F原子、或含有B原子、N原子、Al原子、P原子、Si原子、Ge原子或Ti原子的基团、或碳原子数1～20的有机基团，X表示加水分解性基团，n表示0～2的整数，其中，n是2时、各R1可以相同也可以不相同，n是0～2时、各X可以相同也可以不相同；(b)成分：可以溶解所述(a)成分的溶剂；和(c)成分：鎓盐；所述(a)成分，相对于1摩尔Si原子，含有选自H原子、F原子、B原子、N原子、Al原子、P原子、Si原子、Ge原子、Ti原子及C原子组成的群的至少一种原子的总含量比例为大于等于0.20摩尔小于等于0.65摩尔的成分。