半导体处理系统中的基板支持机构

摘要

在半导体处理系统中，支持机构(12A)用于与搬送臂(32)协作来移送被处理基板(W)。支持机构包括分别能升降且相对搬送臂能够接收基板的第一和第二保持部(38A～38C、40A～40C)。第一和第二保持部配置为能够在空间中相互不干扰地在垂直方向相对移动，保持具有实质相同水平坐标位置的基板。支持机构还包括分别升降第一和第二保持部的第一和第二驱动部(46、48)，以及控制第一和第二驱动部的控制部(68)，所述控制部控制第一和第二驱动部，使得利用所述第一和第二保持部来择一地保持基板。

主权项

1.一种支持机构，用于在半导体处理系统中，与搬送臂协作来移送并载置被处理基板，其特征在于，具有：分别能够升降且相对于所述搬送臂能接收基板的第一和第二保持部，所述第一和第二保持部配置为可在空间中彼此不干扰地在垂直方向上相对移动，保持具有实质相同的水平坐标位置的基板；使所述第一和第二保持部分别升降的第一和第二驱动部；以及控制所述第一和第二驱动部的控制部，所述控制部控制所述第一和第二驱动部，使得由所述第一和第二保持部来择一地保持基板。