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发明名称 ELECTRON SOURCE, APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING NON-OPENING OF A HOLE USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20050072891(A) 申请公布日期 2005.07.12
申请号 KR20040000854 申请日期 2004.01.07
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 YOON, YOUNG JEE;JUN, CHUNG SAM;CHON, SANG MUN
分类号 G01R31/302;G01R31/307;H01J1/304;H01J3/02;H01J37/065;H01J37/073;H01L21/66;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/302
代理机构 代理人
主权项
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