| 主权项 |
1.一种压力感应器的自动零点修正装置,其特征为: 针对测定流体压力的压力感应器,将来自于压力感 应器的感应器输出电压输出至外部,并且将前述感 应器输出电压输入至压力感应器的时间变化零点 漂移修正手段,在该时间变化零点漂移修正手段的 感应器输出判定手段,判定前述感应器输出电压是 否较设定値大,且在前述时间变化零点漂移修正手 段的作动条件判定手段,判定压力感应器的作动条 件,当前述压力感应器输出电压较设定値大且压力 感应器的作用条件处于预先所设定的作动条件下 时,除去压力感应器的时间变化零点偏移。 2.如申请专利范围第1项之压力感应器的自动零点 修正装置,其中在压力感应器使用半导体压感元件 ,又,通过增幅器将感应器的输出电压输出至外部, 并且通过A/D变换器输出至压力感应器的时间变化 零点漂移修正手段,且当感应器输出电压较设定値 大并且压力感应器处于设定的作动条件时,由前述 时间变化零点漂移修正手段通过D/A变换器,将与前 述感应器输出电压相同电压且逆极性之零点修正 用电压输出至前述增幅器之补偿端子。 3.一种压力控制装置的自动零点修正装置,其特征 为:针对具备压力控制用控制阀与测定流体压力的 压力感应器之压力控制装置,将来自于压力感应器 的感应器输出电压输出至外部,并且将前述感应器 输出电压输入至压力感应器的时间变化零点漂移 修正手段,在该时间变化零点漂移修正手段的感应 器输出判定手段,判定前述感应器输出电压是否较 设定値大,且在前述时间变化零点漂移修正手段的 作动条件判定手段,判定压力感应器的作动条件, 当前述压力感应器输出电压较设定値大且压力感 应器的作用条件处于预先所设定的作动条件下时, 除去压力感应器的时间变化零点偏移。 4.如申请专利范围第3项之压力控制装置的自动零 点修正装置,其中在压力感应器使用半导体压感元 件,又,通过增幅器将感应器的输出电压输出至外 部,并且通过A/D变换器输出至压力感应器的时间变 化零点漂移修正手段,且当感应器输出电压较设定 値大并且压力感应器处于设定的作动条件时,由前 述时间变化零点漂移修正手段通过D/A变换器,将与 前述感应器输出电压相同电压且逆极性之零点修 正用电压输出至前述增幅器之补偿端子。 5.一种压力式流量控制装置的自动零点修正装置, 其特征为:针对由流量控制用孔口、设在孔口的上 游侧配管之控制阀及设在孔口与控制阀之间且用 来检测上游侧压力P1的上游侧压力感应器所构成, 藉由上游侧压力P1来控制孔口通过流量之压力式 流量控制装置,将来自于压力感应器的感应器输出 电压输出至流量运算手段,并且将前述感应器输出 电压输入至压力感应器的时间变化零点漂移修正 手段,在该时间变化零点漂移修正手段的感应器输 出判定手段,判定前述感应器输出电压是否较设定 値大,且在前述时间变化零点漂移修正手段的作动 条件判定手段,判定压力感应器的作动条件,当前 述压力感应器输出电压较设定値大且压力感应器 的作用条件处于预先所设定的作动条件下时,除去 压力感应器的时间变化零点偏移。 6.如申请专利范围第5项之压力控制装置的自动零 点修正装置,其中在压力感应器使用半导体压感元 件,又,通过增幅器将感应器的输出电压输出至外 部,并且通过A/D变换器输出至压力感应器的时间变 化零点漂移修正手段,且当感应器输出电压较设定 値大并且压力感应器处于设定的作动条件时,由前 述时间变化零点漂移修正手段通过D/A变换器,将与 前述感应器输出电压相同电压且逆极性之零点修 正用电压输出至前述增幅器之补偿端子。 7.一种压力式流量控制装置的自动零点修正装置, 其特征为:针对由流量控制用孔口、设在孔口的上 游侧配管之控制阀、设在孔口与控制阀之间且用 来检测上游侧压力P1的上游侧压力感应器及设在 孔口的下游侧配管且用来检测下游侧压力P2所构 成,藉由上游侧压力P1与下游侧压力P2来控制孔口 通过流量之压力式流量控制装置,将来自于压力感 应器的感应器输出电压输出至流量运算手段,并且 将前述感应器输出电压输入至压力感应器的时间 变化零点漂移修正手段,在该时间变化零点漂移修 正手段的感应器输出判定手段,判定前述感应器输 出电压是否较设定値大,且在前述时间变化零点漂 移修正手段的作动条件判定手段,判定压力感应器 的作动条件,当前述压力感应器输出电压较设定値 大且压力感应器的作用条件处于预先所设定的作 动条件下时,除去压力感应器的时间变化零点偏移 。 8.如申请专利范围第7项之压力式流量控制装置的 自动零点修正装置,其中在压力感应器使用半导体 压感元件,又,通过增幅器将感应器的输出电压输 出至外部,并且通过A/D变换器输出至压力感应器的 时间变化零点漂移修正手段,且当感应器输出电压 较设定値大并且压力感应器处于设定的作动条件 时,由前述时间变化零点漂移修正手段通过D/A变换 器,将与前述感应器输出电压相同电压且逆极性之 零点修正用电压输出至前述增幅器之补偿端子。 9.如申请专利范围第3或4项之压力控制装置的自动 零点修正装置,其中将在压力感应器的时间变化零 点漂移手段的感应器输出判定手段作为基准的设 定値,作为相当于藉由压力感应器所检测之满标( full-scale)压力的控制精度以下之感应器输出电压 。 10.如申请专利范围第3或4项之压力控制装置的自 动零点修正装置,其中将在压力感应器的时间变化 零点漂移手段的作动条件判定手段作为基准的设 定作动条件,设成:有无对于控制阀的强制导通讯 号、有无切断讯号、及流量设定讯号为零之三个 条件。 11.如申请专利范围第5至8项中任一项之压力式流 量控制装置的自动零点修正装置,其中将在压力感 应器的时间变化零点漂移手段的感应器输出判定 手段作为基准的设定値,作为相当于藉由压力感应 器所检测之满标压力的控制精度以下之感应器输 出电压。 12.如申请专利范围第5至8项中任一项之压力式流 量控制装置的自动零点修正装置,其中将在压力感 应器的时间变化零点漂移手段的作动条件判定手 段作为基准的设定作动条件,设成:有无对于控制 阀的强制导通讯号、有无切断讯号、及流量设定 讯号为零之三个条件。 13.如申请专利范围第4项之压力控制装置的自动零 点修正装置,其中由时间变化漂移修正手段将零点 修正电压输出至增幅器的补偿端子之D/A变换器是 与压力感应器的温度漂移修正手段共用。 14.如申请专利范围第6或8项之压力式流量控制装 置的自动零点修正装置,其中由时间变化漂移修正 手段将零点修正电压输出至增幅器的补偿端子之D /A变换器是与设在该压力式流量控制装置的流量 运算手段的压力感应器的温度漂移修正手段共用 。 图式简单说明: 第1图是在本发明所使用之半导体元件型压力感应 器(压力应变计)之构造图。 第2图是显示在本发明所使用的压力感应器之安装 状况的断面图。 第3图是显示在本发明所使用的压力感应器的真空 保持下之零点输出的随时间变化之曲线图。 第4图是显示在本发明所使用的压力感应器的真空 保持下之零点输出的随时间变化之「根据吸真空 前的使用经历之差异」的线图。 第5图是显示以0(Torr、真空)-60Torr的循环使在本发 明所使用的压力感应器之压力变化之情况的零点 输出的随时间变化之线图。 第6图是显示以0(Torr、真空)-0.1MPaG的循环使压力感 应器之压力变化之情况的零点输出的随时间变化 之线图。 第7图是显示将压力感应器的压力保持于0.1MPaG的 情况时之零点输出的随时间变化之线图。 第8图是在本发明的实施形态所使用之压力式流量 控制装置的构成图。 第9图是修正因在本发明的实施形态所使用的压力 式流量控制装置的温度所引起的压力感应器之输 出变动的手段中之零点输出修正部分的方块构成 图。 第10图是显示压力感应器的零点输出电压的修正 与满标(FS)的关系之说明图。 第11图是本发明之压力式流量控制装置的控制电 路之方块构成图。 第12图是本发明之压力感应器之时间变化零点漂 移修正手段的作动流程图。 第13图是显示以往的压力式流量控制装置的一例 之图。 第14图是显示以往的压力式流量控制装置的一例 之图。 |
