| 发明名称 |
EQUIPMENT FOR MONITERRING PATICLE STATE OF SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050072165(A) |
申请公布日期 |
2005.07.11 |
| 申请号 |
KR20040000063 |
申请日期 |
2004.01.02 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
PARK, BONG JIN |
| 分类号 |
H01L21/66;G01N15/06;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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