发明名称 SYSTEM AND METHOD FOR CONTROLLING SCAN INTERLOCK OF HIGH-ENERGY ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 KR20050072235(A) 申请公布日期 2005.07.11
申请号 KR20040000609 申请日期 2004.01.06
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, DONG KYU;KIM, SUNG JU;JOO, YUNG BYEONG;JUNG, YOUNG DONG
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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