| 发明名称 |
Micromachining by chemical mechanical polishing |
| 摘要 |
Methods of micromachining structures on substrates using chemical mechanical polishing techniques.
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| 申请公布号 |
US2005148289(A1) |
申请公布日期 |
2005.07.07 |
| 申请号 |
US20040752416 |
申请日期 |
2004.01.06 |
| 申请人 |
CABOT MICROELECTRONICS CORP. |
发明人 |
MIKOLAS DAVID G.;WYLIE IAN W. |
| 分类号 |
B24B37/04;(IPC1-7):B24B1/00 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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