SLUICE SYSTEM FOR A VACUUM FACILITY

摘要

Die Erfindung betrifft ein Schleusensystem für eine Vakuumbeschichtungsanlage (1) zum Beschichten von Substraten, die in einer Transportrichtung durch die Vakuumbeschichtungsanlage bewegbar sind, mit ein- und ausgabeseitig jeweils einer Vorvakuumschleusenkammer (2) und einer an eine Beschichtungskammer (4) angrenzende Transferkammer (3), wobei in Transportrichtung vor der eingabeseitigen und in Transportrichtung nach der ausgabeseitigen Transferkammer ein Feinvakuum einstellbar ist. Die Vorvakuumsschleusenkammer (2) grenzt direkt an die Transferkammer (3) an und in der Vorvakuumschleusenkammer (2) ist das Feinvakuum einstellbar.