发明名称 PLASMA ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 KR100499763(B1) 申请公布日期 2005.07.07
申请号 KR19997008142 申请日期 1999.09.07
申请人 发明人
分类号 C23F4/00;(IPC1-7):C23F4/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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