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Der Planarmotor ermöglicht eine flachere Bauweise, eine Steuerung der Vibrationen und eine hochgenaue Positionierung, indem ein kernloser X-Achse- und Y-Achse-Linearmotor ohne Verwendung einer Linearführung in derselben Ebene angeordnet und in der X- und Y-Richtung hochgenaue Kapazitätswegsensoren verwendet werden. Zwei Paare von Permanentmagneten sind orthogonal zu einer von zwei orthogonalen Achsen auf einem bewegbaren Tisch derart angeordnet, daß sie magnetische Flüsse in einer Richtung senkrecht zu der Fläche des bewegbaren Tisches erzeugen. Ferner sind die Permanentmagnete eines Paares symmetrisch zueinander bezüglich einer der zwei Achsen angeordnet, während die des anderen Paares symmetrisch zueinander zu der anderen Achse angeordnet sind. Zwei Paare von Spulen sind derart angeordnet, daß sie den Paaren von Permanentmagneten gegenüberliegen und diesen angepaßt sind. Eine kreuzförmige gemeinsame Elektrode ist an dem bewegbaren Tisch befestigt und derart angeordnet, daß sie einer feststehenden Elektrodenanordnung gegenüberliegt, die aus zwei Elektroden gebildet ist, welche auf einer feststehenden Elektrodenbasis angeordnet sind. Verschiebungen des bewegbaren Tisches können anhand von Änderungen der Kapazität von Kondensatoren ermittelt werden, die von der kreuzförmigen gemeinsamen Elektrode und den feststehenden Elektroden gebildet werden.
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