| 发明名称 |
PHASE SHIFTING MASK AND MANUFACTURING METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050071068(A) |
申请公布日期 |
2005.07.07 |
| 申请号 |
KR20030101888 |
申请日期 |
2003.12.31 |
| 申请人 |
DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. |
发明人 |
LEE, JUN SEOK |
| 分类号 |
H01L21/027;B44C1/22;C03C15/00;C03C25/68;C23F1/00;C25F3/00;G03F1/00;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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