| 发明名称 |
Verfahren und Struktur zum Kalibrieren einer Messanlage auf Streumessungsbasis, die zum Messen von Abmessungen von Strukturelementen auf einem Halbleiterbauelement verwendet wird |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10297676(T5) |
申请公布日期 |
2005.07.07 |
| 申请号 |
DE20021097676T |
申请日期 |
2002.12.17 |
| 申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICES, INC. |
发明人 |
NARIMAN, HOMI E. |
| 分类号 |
G01B11/02;G01N21/47;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66;G01R31/265 |
主分类号 |
G01B11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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