| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur thermischen Zersetzung flüchtiger Verbindungen und Abscheidung dabei entstehender Pulver, welche mindestens die folgenden Kennzeichen aufweist, DOLLAR A - einen Druckbehälter (1), DOLLAR A - mindestens ein Reaktionsrohr (2), das mit seinem offenen Ende (2c) in den Druckbehälter hinein reicht, das andere Ende sich außerhalb des Druckbehälters befindet und mit einer Gaszuführung (3) versehen ist, die Längsachse des Reaktionsrohres in Richtung der Gravitation und parallel zur Längsachse des Druckbehälters (1d) orientiert ist, das Reaktionsrohr gaseinlassseitig beheizbar (2a) und gasauslassseitig kühlbar (2b) ist, DOLLAR A - der Druckbehälter (1) in seinem unteren Teil über einen Sammelkonus (1a) verfügt, wobei das offene Ende des bzw. der Reaktionsrohre (2c) in den Gasraum des Sammelkonus (1b) hineinreicht, DOLLAR A - der Sammelkonus (1a) mit einer Auslassschleuse (6) für Pulver (P) verbunden ist und DOLLAR A - einer Gasauslasseinheit (7), die mit einer Gasführung (7a), deren Gaseinlassbereich (7b) mit dem Gasraum (1b) des Sammelkonus (1a) in Verbindung steht, einem Filtersystem (8) und einem Gasauslass (9), der außerhalb des Druckbehälters liegt, ausgestattet ist. DOLLAR A Ferner betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur thermischen Zersetzung mindestens einer flüchtigen Verbindung und Abscheidung dabei entstehender Partikel unter Einsatz einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, wobei man DOLLAR A - die jeweiligen Reaktionsrohre (2) einlassseitig (2a) auf ...
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