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METHOD FOR REMOVING BACKSIDE RESIDUE
摘要
申请公布号
KR20050071106(A)
申请公布日期
2005.07.07
申请号
KR20030101967
申请日期
2003.12.31
申请人
DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC.
发明人
BYUN, DONG IL
分类号
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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