发明名称 method for flatting of semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100499556(B1) 申请公布日期 2005.07.07
申请号 KR20000064890 申请日期 2000.11.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/3105;(IPC1-7):H01L21/310 主分类号 H01L21/3105
代理机构 代理人
主权项
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