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发明名称 Vorrichtung zum Aufbringen von dünnen Schichten
摘要
申请公布号 DE60011215(T2) 申请公布日期 2005.07.07
申请号 DE20006011215T 申请日期 2000.12.15
申请人 IPS LTD., PYUNGTAEK 发明人 WON-SUNG, CHOI
分类号 C23C16/455;C23C16/44;C23C16/448;H01L21/31;(IPC1-7):B01J19/00;C23C16/452 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
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