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发明名称
LOW FOAMING DEVELOPER FOR RADIATION SENSITIVE COMPOSITION
摘要
申请公布号
KR20050070345(A)
申请公布日期
2005.07.07
申请号
KR20030099760
申请日期
2003.12.30
申请人
DONGWOO STI CO., LTD.;DONGWOO FINE-CHEM CO., LTD.
发明人
CHOI, YOUNG KOOK;YANG, MIN SOO;LIM, DAE SUNG;LEE, KYOUNG MO;LEE, GA YEON;CHOI, SUN MI;KIM, SANG TAE;CHON, SUNG HYUN;LEE, JONG CHAN;JI, GEUN WANG
分类号
G03F7/004;(IPC1-7):G03F7/004
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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