发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING A DEFECT
摘要
申请公布号 KR20050070265(A) 申请公布日期 2005.07.07
申请号 KR20030099562 申请日期 2003.12.30
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KANG, TAE SOO
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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