| 摘要 |
<p>Ein Beschleunigungssensor beinhaltet ein Halbleitersubstrat (SB), ein auf dem Halbleitersubstrat (SB) ausgebildetes Fühlerelement, einen aus Polysilizium bestehenden Binderahmen (FD), der auf dem Halbleitersubstrat (SB) ausgebildet ist und das Fühlerelement umgibt, und eine Glaskappe (CA), die mit einer oberen Oberfläche des aus Polysilizium bestehenden Binderahmens (FD) verbunden ist, sodass das Fühlerelement oberhalb des Fühlerelements bedeckt ist, wobei sie um einen vorbestimmten Abstand von dem Fühlerelement beabstandet ist. Der aus Polysilizium bestehende Binderahmen (FD) ist mit keiner Dotierung dotiert.</p> |
