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发明名称 END POINT DETECTING DEVICE FOR CMP PROCESS
摘要
申请公布号 KR20050070254(A) 申请公布日期 2005.07.07
申请号 KR20030099530 申请日期 2003.12.30
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 JANG, SUNG HO
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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