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发明名称 METHOD FOR FORMATING STI IN SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR20050069172(A) 申请公布日期 2005.07.05
申请号 KR20030101126 申请日期 2003.12.31
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 SEO, YOUNG HUN
分类号 H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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