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发明名称 LOADING DEVICE OF WAFER
摘要
申请公布号 KR20050068755(A) 申请公布日期 2005.07.05
申请号 KR20030100552 申请日期 2003.12.30
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 CHA, HYUN KI
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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