发明名称 SPUTTER FOR MANUFACTURING OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND CLUSTER TOOL INCLUDED THE SAME
摘要
申请公布号 KR20050067861(A) 申请公布日期 2005.07.05
申请号 KR20030098888 申请日期 2003.12.29
申请人 LG.PHILIPS LCD CO., LTD. 发明人 CHOI, SANG JIN
分类号 G02F1/13;(IPC1-7):G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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