发明名称 FABRICATING METHOD OF FERROELECTRIC CAPACITOR IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050067506(A) 申请公布日期 2005.07.05
申请号 KR20030098491 申请日期 2003.12.29
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 SON, JI HYE
分类号 H01L27/105;(IPC1-7):H01L27/105 主分类号 H01L27/105
代理机构 代理人
主权项
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