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经营范围
发明名称
Production of semiconductor films
摘要
申请公布号
US3063871(A)
申请公布日期
1962.11.13
申请号
US19590848380
申请日期
1959.10.23
申请人
MERCK & CO.
发明人
BARKEMEYER HENRY R.;MCALEER WILLIAM J.;POLLAK PETER I.
分类号
C23C14/06;C23C14/14
主分类号
C23C14/06
代理机构
代理人
主权项
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