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发明名称 WET ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20050069031(A) 申请公布日期 2005.07.05
申请号 KR20030100851 申请日期 2003.12.30
申请人 LG.PHILIPS LCD CO., LTD. 发明人 PARK, JONG HEE;LEE, JAE HYUN
分类号 G02F1/13;(IPC1-7):G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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