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发明名称
PULSED LASER DEPOSITION SYSTEM AND METHOD FOR FABRICATING LARGE AREA AND HIGH QUALITY FILM
摘要
申请公布号
KR20050069969(A)
申请公布日期
2005.07.05
申请号
KR20050051046
申请日期
2005.06.14
申请人
KOREA BASIC SCIENCE INSTITUTE;JEONG, SE YOUNG
发明人
CHO, CHAE RYONG;JEONG, SE YOUNG;KIM, JONG PIL
分类号
H01S3/10
主分类号
H01S3/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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