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经营范围
发明名称
EXPOSURE METHOD FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号
KR20050068900(A)
申请公布日期
2005.07.05
申请号
KR20030100716
申请日期
2003.12.30
申请人
DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC.
发明人
CHUNG, NO YOUNG
分类号
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
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