发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING CAPACITOR WITH METAL-BOTTOM ELECTRODE FORMED GRANULAR OF TITANIUM SILICIDE
摘要
申请公布号 KR20050067527(A) 申请公布日期 2005.07.05
申请号 KR20030098513 申请日期 2003.12.29
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 PARK, KI SEON
分类号 H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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