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发明名称 METHOD FOR FORMING A SHALLOW TRENCH ISOLATION
摘要
申请公布号 KR20050067501(A) 申请公布日期 2005.07.05
申请号 KR20030098486 申请日期 2003.12.29
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHUNG, EUN KUK;KIM, JOON;KIM, JIN HONG;BANG, SUK CHUL;JANG, WOO SOON
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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