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发明名称 CMP SLURRY HAVING LONG STORAGE STABILITY
摘要
申请公布号 KR20050067846(A) 申请公布日期 2005.07.05
申请号 KR20030098870 申请日期 2003.12.29
申请人 CHEIL INDUSTRIES INC. 发明人 OH, CHANG IL;LEE, KIL SUNG;LEE, IN KYUNG
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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