发明名称 APERTURE AND APERTURE ALINE METHOD OF SCANING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 KR20050067756(A) 申请公布日期 2005.07.05
申请号 KR20030098770 申请日期 2003.12.29
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 YANG, DAE SEOK
分类号 G02B21/00;(IPC1-7):G02B21/00 主分类号 G02B21/00
代理机构 代理人
主权项
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