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发明名称 OPTICAL MEASUREMENT EQUIPMENT FOR CRITICAL DIMENSION OF PATTERNS COMPRISING A TUNABLE LASER SYSTEM AND MEASURING METHOD FOR CRITICAL DIMENSION OF PATTERNS USING THE OPTICAL MEASUREMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR20050068011(A) 申请公布日期 2005.07.05
申请号 KR20030099051 申请日期 2003.12.29
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, DONG GUN;CHOI, SEONG WOON;MOON, SEONG YONG;KIM, BYUNG GOOK;KIM, MIN AH
分类号 H01L21/66;G01B11/02;G01B11/14;G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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