一种用于基板之各异向性蚀刻之非结晶蚀刻停止

摘要

本发明描述藉由向一基板内植入电中性元素而形成非结晶蚀刻停止层之方法。若该等元素扩散至该基板内的其它区域，则使用该基板内之电中性元素来防止该等元素之电干扰。该非结晶蚀刻停止层可在电晶体或诸如悬臂支架之其它装置的制造中用作硬式遮罩。